중국의 진공 도금 기계의 발전을 제한하는 많은 요인이 있습니다. 특히 도금 기계의 증발원 제조에 사용되는 주요 원료인 탄탈 및 탄탈로 만든 부품의 가공이 그렇습니다.탄탈륨 및 탄탈륨 합금높은 융점, 우수한 안정성 및 고온에서의 낮은 증기압으로 인해 진공 장비의 지지 액세서리, 히터 및 열 차폐물 제조에 적합합니다. 현재 국내 기업이 진공증발기용 탄탈륨 부품 생산에 종사하는 경우가 거의 없어 진공증발기용 탄탈륨 부품 수입 의존도가 높으며 중국에서 진공증발기용 탄탈륨 부품 생산 및 제조에 많은 어려움이 있습니다.
저항 가열은 증발 온도가 1 000~{1}} C인 재료의 증발원으로 자주 사용됩니다. 일반적으로 증발원 재료의 융점이 증발보다 약 1000C 높아야 합니다. 작동 온도, 평형 증기 압력이 낮고 고온 냉각 후 취성이 작고 진공 환경에서 화학적 안정성이 좋습니다. 따라서 탄탈륨은 진공 증발에 대한 일반적인 재료입니다.
탄탈륨은 약간 푸른 색을 띠는 밝은 회색 금속으로 밀도가 높고(16.5) × 103 kg/m3), 높은 융점(2 996 C), 낮은 선팽창 계수(6.5 사이 0 및 100 C) × 10-6 K{10}}), 연성, 구리보다 인성, 가는 와이어 또는 호일로 냉간 인발. 300K에서 탄탈륨의 열전도율은 52.1W(m·K){14}}이고 탄성계수는 실온에서 192×103 MPa이다.
Ta1의 탄탈륨 함량은 90.35% 이상입니다. Ta2는 79.50% 이상의 탄탈륨을 포함합니다. 그러나 탄탈륨의 순도는 일반적인 진공 증착 도금의 경우 99.95% 이상, 고급 OLED 도금 장비의 경우 99.99% 이상입니다. 분명히, 진공 도금을 위한 탄탈륨의 기본 요구 사항은 기존 브랜드 및 표준을 사용하여 충족될 수 없습니다. 고순도 탄탈륨 생산은 진공 도금기용 탄탈륨 부품의 국산화를 제한하는 핵심 요소가 되었습니다.
다른 금속 원소(예: Fe, Ni 등)의 낮은 융점 또는 높은 평형 증기압(예: W), 또는 탄탈륨 재료의 낮은 안정성(Ti). 저순도 탄탈륨 재료가 고온에서 증발하면 다른 금속 원소가 분해되어 증발하거나 증발 챔버 내의 다른 분자와 반응하여 증발기 재료 구성요소에서 필름 구성요소가 이탈할 수 있습니다. 따라서 고순도 탄탈륨 부품의 진공 증발은 코팅에 대한 증발 소스 물질의 오염을 크게 줄일 수 있습니다.
